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　　中國電科旗下電科裝備研制成功的離子注入機。中國電科 供圖

　　中新網北京3月17日電 (記者 孫自法)記者17日從中國電子科技集團有限公司(中國電科)獲悉，該集團旗下電科裝備已成功實現離子注入機全譜系產品國產化，可為全球芯片制造企業提供離子注入機一站式解決方案。

　　中國電科介紹說，離子注入機是芯片制造中的關鍵裝備。電科裝備連續突破大流強長壽命高品質離子源、高速晶圓傳輸等“卡脖子”關鍵技術，自主研制出中束流、大束流、高能、特種應用及第三代半導體等離子注入機，工藝段覆蓋至28納米，已累計形成核心發明專利413項，實現中國芯片制造領域全譜系離子注入機自主創新發展，將有效緩解中國芯片制造領域斷鏈、短鏈難題。

　　中國電科表示，下一步，電科裝備將瞄準高端，緊跟先進工藝發展，加快推進適用于更先進工藝節點離子注入機的研發及產業化。

　　據了解，中國電科是中國軍工電子主力軍、網信事業“國家隊”、國家戰略科技力量，擁有電子信息領域相對完備的科技創新體系。目前，中國電科旗下包括47家國家級研究院所、11家上市公司在內的企事業單位500余家，員工20余萬名，并擁有35個國家級重點實驗室、研究中心和創新中心。